Productoverzicht
Grade 2 Titanium Sputtering Targets are manufactured from commercial pure titanium (>= 99.95% zuiverheid) via vacuümsmelten en nauwkeurige thermo-mechanische verwerking. Deze doelen zijn ontworpen voor DC- en RF-magnetronsputtersystemen en leveren een uniforme dunne-filmafzetting met gecontroleerde korrelstructuur, waardoor de vorming van deeltjes en vonkvorming tijdens coatingcycli worden geminimaliseerd. Verkrijgbaar in vlakke (rond, rechthoekig) en roterende configuraties voor industriële PVD-lijnen.
Technische specificaties
|
Parameter |
Standaardspecificatie |
Bijbehorende technische bronnen |
|
Materiaalkwaliteit |
ASTM klasse 2 / UNS R50400 (commercieel puur titanium) |
|
|
Zuiverheid |
>= 99.95% (3N5) |
Materiaalcertificeringsgegevens |
|
Dikte |
>= 4.51 g/cm³ (Theoretical density >= 99.2%) |
Archimedes-testrapport |
|
Gemiddelde korrelgrootte |
< 100 um (Fine, uniform microstructure) |
Metallografisch analysemonster |
|
Beschikbare vormen |
Vlak (schijf, rechthoekig, segment), roterend (cilindrisch) |
Aangepast configuratieblad |
|
Afmetingen |
Diameter tot 400 mm; Lengte tot 3000 mm voor roterend; Aangepaste diktes beschikbaar |
Toleranties en bewerkingslimieten |
|
Oppervlakteafwerking |
Ra<= 0.8 um (machined or polished) |
Inspectiegegevensblad |
|
Verbindingsopties |
Indiumbinding, Cu-solderen van de achterplaat (OFHC-koper) |
Richtlijnen voor thermische interfaces |
Belangrijkste kenmerken
Fijne microstructuur:Gecontroleerde warmwals- en gloeiparameters produceren een homogene, fijnkorrelige matrix die stabiele afzettingssnelheden en voorspelbaar doelgebruik garandeert.
Lage gasonzuiverheden:Het vacuüm-elektronenbundelsmelten minimaliseert interstitiële elementen (zuurstof, stikstof, waterstof, koolstof, ijzer), waardoor micro-boogvorming en insluitingsdefecten in de afgezette film worden verminderd.
Hoge thermische en elektrische geleidbaarheid:Behoudt een stabiele elektrische impedantie onder magnetronsputteromstandigheden met hoog-vermogen.
Nauwkeurige maattolerantie:CNC-gefreesde randen en montagegaten zorgen voor een naadloze installatie in standaard en op maat gemaakte kathodeassemblages.
Toepassingen
Architectonisch en autoglas:Glascoatings met lage-E (lage-emissiviteit) en zonwerende raamfolies.
Decoratieve en harde coatings:Dunne PVD-films voor sanitair, deurbeslag, horlogekasten en consumentenelektronica die slijtvastheid en metalen afwerkingen vereisen.
Halfgeleider en micro-elektronica:Diffusiebarrières, contactlagen en zaadlagen in niet-kritische IC-verpakkingen en productie van discrete apparaten.
Optische beeldschermen:Geleidende of reflecterende lagen voor platte-beeldschermen en aanraakschermen.
Maatwerk en productie
Productiemogelijkheden:Gecontroleerd via vacuüm-inductiesmelten (VIM), smeden, multi-directioneel walsen en vacuümgloeilijnen. Interne verwerking maakt strikte controle mogelijk over de segregatie van onzuiverheden en de graangroei.
Aangepaste geometrieën:De fabricage is geschikt voor niet-standaard rechthoekige afmetingen, getrapte randen, complexe koelkanaalconfiguraties en directe verbinding met OFHC koperen of aluminium steunplaten met behulp van indium of elastomere soldeerlegeringen.
Van prototype naar productie:Schaalbaarheid ondersteunt R&D-proeven met één- stuk tot geplande batchverzendingen van meerdere- tonnen voor industriële coatinglijnen.
Kwaliteitscontrole en certificeringen
Analytisch testen:Elke productiepartij ondergaat een analyse van de chemische samenstelling via Glow Discharge Mass Spectrometry (GDMS) of ICP-OES. De dichtheid wordt geverifieerd met behulp van de drainagemethode van Archimedes.
Microstructurele inspectie:Metallografisch onderzoek bevestigt de korrelgrootteverdeling en fasehomogeniteit. De integriteit van het oppervlak en de ondergrond wordt gecontroleerd met behulp van ultrasoon testen (UT) voor doelen die de kritische diktedrempels overschrijden.
Traceerbaarheid:Elk doel wordt geleverd met een individueel analysecertificaat (CoA) waarin de feitelijke zuiverheid, onzuiverheidsniveaus (ppm), dichtheid en dimensionale inspectiegegevens worden vastgelegd.
Kwaliteitsnorm:Gefabriceerd volgens ISO 9001-gecertificeerde operationele procedures.
Verpakking en levering
Naleving van beschermende verpakkingen en transport:Individueel vacuüm-verzegeld in polyethyleen zakken met vocht-absorberend droogmiddel, ingesloten in houten kratten met hoge-dichtheid van EVA-schuim-. Verpakkingsprotocollen zijn ontwikkeld en getest om bestand te zijn tegen internationale zee- en luchtvrachtvervoer over lange- afstanden, waarbij oxidatie van het oppervlak, afbrokkeling van de randen of stootschade worden voorkomen.
Logistieke en douaneondersteuning:Wereldwijde zendingen omvatten volledige nalevingsdocumentatie (fabriekstestcertificaten, handelsfacturen, paklijsten en exportconformiteitsformulieren). Standaard levertijden variëren van 2 tot 4 weken, afhankelijk van afmetingen en lijmvereisten.
Veelgestelde vragen
Vraag: Wat is het exacte zuiverheidsniveau van uw Titanium-doelen van klasse 2?
A: De standaardzuiverheid is 99,95% (3N5). Specifieke onzuiverheidslimieten voor ijzer (Fe), zuurstof (O), koolstof (C), stikstof (N) en waterstof (H) voldoen strikt aan de chemische limieten van ASTM B348 Graad 2, waarbij de individuele partijwaarden gedetailleerd zijn in het meegeleverde analysecertificaat.
Vraag: Hoe voorkom je vonkoverslag tijdens sputteren met hoog-vermogen?
A: Target density (>= 99.2%) en fijne korrelgrootte (< 100 um) eliminate micro-voids and segregation zones. This structural uniformity prevents localized charge accumulation and sudden gas release, minimizing particle generation and DC/RF arcing.
Vraag: Kunnen jullie doelen leveren die op steunplaten zijn bevestigd?
EEN: Ja. Planaire doelen kunnen met indium-gebonden of gesoldeerd worden op zuurstof-Vrije Hoge-Koper- of aluminium steunplaten (OFHC), afgestemd op specifieke kathodekoelingsontwerpen en vermogensdichtheden.
Vraag: Wat is de typische doorlooptijd voor rechthoekige doelen op maat-?
A: Standaardfabricage en kwaliteitsverificatie vereisen 15 tot 25 werkdagen voor aangepaste afmetingen of gebonden configuraties. Voorraadgrondstoffen zorgen voor een versnelde doorlooptijd voor standaard vlakke schijven.
Vraag: Verstrekt u bij elke zending materiële testrapporten?
A: Elke batch bevat een compleet analysecertificaat (CoA) waarin de chemische samenstelling, dichtheid, hardheid en ultrasone NDT-inspectieresultaten worden bevestigd, indien van toepassing.
Vraag: Wat is de minimale bestelhoeveelheid (MOQ) voor niet-standaardafmetingen?
A: MOQ is afhankelijk van het materiaalgebruik tijdens het snijden en smeden. Voor standaard voorraadformaten worden prototypebestellingen uit één- stuk geaccepteerd; voor aangepaste legeringsaanpassingen of unieke geometrieën zijn batchminima van toepassing.
Vraag een offerte aan
Specificeer de vereiste afmetingen, zuiverheid, vorm (planair/roterend), hoeveelheid en doelbindingsvereisten om een technische offerte, materiaaldoorlooptijd en beoordelingen van technische tekeningen te ontvangen.
Vereiste offerteaanvraagdetails:Doelgeometrie en -afmetingen, hoeveelheid, vereiste steunplaat (indien van toepassing), doeltoepassing / sputtersysteem, CAD/tekeningbijlage (optioneel voor DFM-beoordeling).
Populaire tags: graad 2 titanium sputterdoelen, China graad 2 titanium sputterdoelen fabrikanten, leveranciers, fabriek